Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质 | |
赵春雨; 张吉英; 王晓华; 申德振 ; 姚斌; 赵东旭; 张振中; 李炳辉
| |
| 2008-12-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| ISSN | 1000-7032 |
| 期号 | 6 |
| 摘要 | 采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜,利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器。在3V偏压下,器件的暗电流小于250nA,光响应峰值在370nm,响应度是0.34A/W。其紫外(360nm)与可见光(420nm)的抑制比为4个数量级。器件的光响应时间上沿仅为20ns。 |
| 关键词 | Zno薄膜 Msm 光导紫外探测器 射频磁控溅射 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21460 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵春雨,张吉英,王晓华,等. MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质[J]. 发光学报,2008(6). |
| APA | 赵春雨.,张吉英.,王晓华.,申德振.,姚斌.,...&李炳辉.(2008).MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质.发光学报(6). |
| MLA | 赵春雨,et al."MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质".发光学报 .6(2008). |
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