Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 30_4nm正入射成像系统滤光片 | |
王丽辉; 何玲平 ; 王孝坤; 尼启良; 陈波
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| 2008-01-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| ISSN | 1004-924X |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 多层膜反射镜是30.4nm正入射望远镜的主要反射元件,但它在紫外、可见和近红外光波段也具有很高的反射率,需要滤光片来消除这些长波辐射,而滤光片材料和膜层厚度对滤光片的性能起重要作用。根据原子散射因子,理论计算出几种材料波长和线性吸收系数之间的关系,确认铝是30.4nm波段滤光片的最好材料。在考虑透过率和膜强度的基础上,确定了滤光片的膜层厚度。改进了现有的由Mcpherson247掠入射软X射线-真空紫外单色仪和气体空心阴极光源组成的光谱测量装置,使其适合于透过率的测量,其波长扫描精度为±0.017~±0.097nm,对所制备的铝滤光片进行25.6~1000nm波段的透过率测量,测量结果显示其在30.4nm处的透过率为58.85%。为了比较全面地反映该种滤光片的透过率情况,又测量了它在紫外、可见和近红外波段的透过率,其值接近零,证明了该滤光片可满足30.4nm成像系统的需要。 |
| 关键词 | Euv滤光片 线性吸收系数 反射比 透过率 单色仪 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21428 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王丽辉,何玲平,王孝坤,等. 30_4nm正入射成像系统滤光片[J]. 光学精密工程,2008(1). |
| APA | 王丽辉,何玲平,王孝坤,尼启良,&陈波.(2008).30_4nm正入射成像系统滤光片.光学精密工程(1). |
| MLA | 王丽辉,et al."30_4nm正入射成像系统滤光片".光学精密工程 .1(2008). |
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| 30_4nm正入射成像系统滤光片.caj（386KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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