Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
MEMS开关技术的研究与进展 | |
曲利新 | |
2008 | |
发表期刊 | 现代电子技术 |
期号 | 1 |
摘要 | 开关是信号变换的关键元件。随着MEMS技术的发展,使实现低功耗、隔离度好、工作频带宽的MEMS开关成为现实。在MEMS技术的基础上,分析了MEMS开关技术及其在电路系统中的应用,并着重阐述了射频MEMS的结构及其相关技术特点。 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21395 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲利新. MEMS开关技术的研究与进展[J]. 现代电子技术,2008(1). |
APA | 曲利新.(2008).MEMS开关技术的研究与进展.现代电子技术(1). |
MLA | 曲利新."MEMS开关技术的研究与进展".现代电子技术 .1(2008). |
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MEMS开关技术的研究与进展.caj(89KB) | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 |
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