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MEMS开关技术的研究与进展
曲利新
2008
发表期刊现代电子技术
期号1
摘要开关是信号变换的关键元件。随着MEMS技术的发展,使实现低功耗、隔离度好、工作频带宽的MEMS开关成为现实。在MEMS技术的基础上,分析了MEMS开关技术及其在电路系统中的应用,并着重阐述了射频MEMS的结构及其相关技术特点。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21395
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
曲利新. MEMS开关技术的研究与进展[J]. 现代电子技术,2008(1).
APA 曲利新.(2008).MEMS开关技术的研究与进展.现代电子技术(1).
MLA 曲利新."MEMS开关技术的研究与进展".现代电子技术 .1(2008).
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