Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪 | |
| 张贵彦; 袁宏韬; 缪同群 | |
| 2007-06-30 | |
| 发表期刊 | 红外与激光工程
 |
| ISSN | 1007-2276 |
| 期号 | S1 |
| 摘要 | 运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14～0.19nm之间,说明了此抛光工艺的稳定性;用原子力显微镜测量值为0.143nm均方根粗糙度的超光滑硅片作为参考样片,比较了其他三片相同工艺制备的硅表面的全积分散射测量结果,结果显示与标准片的测量结果非常接近,均在0.14～0.18nm之间,验证了全积分散射法的合理性;进一步分析了锗、铝、碳化硅等表面的全积分散射测量结果,结果呈现出明显的差异,说明该方法具有较高的灵敏度和较大的动态范围。 |
| 关键词 | 全积分散射 积分球 均方根粗糙度 超光滑 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21317 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张贵彦,袁宏韬,缪同群. 一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪[J]. 红外与激光工程,2007(S1). |
| APA | 张贵彦,袁宏韬,&缪同群.(2007).一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪.红外与激光工程(S1). |
| MLA | 张贵彦,et al."一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪".红外与激光工程 .S1(2007). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪.k（251KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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