Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜 | |
| 袁宏韬; 张贵彦 | |
| 2007-04-30 | |
| 发表期刊 | 激光与红外
 |
| ISSN | 1001-5078 |
| 期号 | 4 |
| 摘要 | 采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532nm绿光激光器用倍频波长分离膜。针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜。为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法。 |
| 关键词 | 倍频波长分离膜 时间监控 双离子束溅射 半波孔 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21268 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁宏韬,张贵彦. 时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜[J]. 激光与红外,2007(4). |
| APA | 袁宏韬,&张贵彦.(2007).时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜.激光与红外(4). |
| MLA | 袁宏韬,et al."时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜".激光与红外 .4(2007). |
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