Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 臭氧水在TFT制造工艺中的作用 | |
| 孙凌 | |
| 2007-02-05 | |
| 发表期刊 | 现代显示
 |
| ISSN | 1006-6268 |
| 期号 | 2 |
| 摘要 | 本文阐述了臭氧水在薄膜晶体管制造工艺中所起的清洗及成膜作用。在薄膜晶体管制造中,引入臭氧水工艺,增强了它的可控性,增加了欧姆接触,降低点欠陷数量,提高成品率。 |
| 关键词 | 薄膜晶体管制造 臭氧 臭氧水应用 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21246 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙凌. 臭氧水在TFT制造工艺中的作用[J]. 现代显示,2007(2). |
| APA | 孙凌.(2007).臭氧水在TFT制造工艺中的作用.现代显示(2). |
| MLA | 孙凌."臭氧水在TFT制造工艺中的作用".现代显示 .2(2007). |
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