Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 | |
| 李文昊; 巴音贺希格; 齐向东 | |
| 2007-02-15 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| ISSN | 1003-8213 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 根据表面热动力学原理提出了一种成本低廉、制作周期短、易于实现的光刻胶热熔法,阐述了光刻胶热熔法的基本原理,探讨了光刻胶热熔对光刻胶光栅表面刻槽形状的影响。实验中,分别对经过和未经过热熔处理的光刻胶光栅做了离子束刻蚀。结果表明,利用表面张力作用可使熔融状态下的光刻胶光栅刻槽表面变得平滑,粗糙度降低,并且成功地在K9玻璃基底上得到了槽形较好的全息光栅。 |
| 关键词 | 全息光栅 光刻胶热熔法 离子束刻蚀 原子力显微镜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21228 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文昊,巴音贺希格,齐向东. 基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理[J]. 微细加工技术,2007(1). |
| APA | 李文昊,巴音贺希格,&齐向东.(2007).基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理.微细加工技术(1). |
| MLA | 李文昊,et al."基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理".微细加工技术 .1(2007). |
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