Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 半导体激光器下电极键合机 （实用新型） | |
王立军 ; 武胜利; 付德惠; 刘云
| |
| 1999-06-09 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 公开日期 | 1999-06-09 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 一种半导体激光器下电极键合机，属半导体技术领域。本设计集三维微米量级精度调解、角度调解、快速升、降温控制（３分钟从室温升到１７０℃，５分钟从１７０℃降至４０℃）、压力控制（从１－２０克），气体携带管芯，惰性气体保护、光学系统同时检测于一体的下电极键合机，是制作…… |
| 申请日期 | 1997-12-27 |
| 专利号 | 2323480 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 97246535.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12784 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王立军,武胜利,付德惠,等. 半导体激光器下电极键合机 （实用新型）. 2323480[P]. 1999-06-09. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199900232348000000（170KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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