Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超薄微腔激光器件的移植方法 （发明） | |
武胜利; 王立军 ; 刘云; 付德惠
| |
| 1999-07-07 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-14 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种超薄微腔激光器件的移植方法，属半导体技术领域。采用低粘度树脂粘结及相应的选择腐蚀工艺成功地将直径５微米，厚０．１９微米的超薄微腔激光器移植到低折射率的材料上。明显改善了器件的机械强度和激光器光学特性。 |
| 申请日期 | 1997-12-27 |
| 专利号 | 1221986 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 97123416.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12718 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武胜利,王立军,刘云,等. 超薄微腔激光器件的移植方法 （发明）. 1221986[P]. 1999-07-07. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199900122198600000（126KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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