Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| N型磷化铟欧姆接触制造方法 （发明） | |
王立军 ; 武胜利; 刘云; 付德惠
| |
| 1999-07-07 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-14 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种ｎ－ＩｎＰ欧姆接触的制造方法，属于半导体技术领域，通过向浓度为１×１０↑［１８］ｃｍ↑［－３］的Ｎ型ＩｎＰ表面依次蒸镀一定厚度的ＡｕＳｂ、ＡｕＧｅＮｉ和高纯Ａｕ使欧姆接触由常规法的４×１０↑［－６］Ω．ｃｍ↑［２］降到８×１０↑［－７］Ω．ｃｍ↑［２］，有…… |
| 申请日期 | 1997-12-27 |
| 专利号 | 1221978 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 97119870.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12717 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王立军,武胜利,刘云,等. N型磷化铟欧姆接触制造方法 （发明）. 1221978[P]. 1999-07-07. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199900122197800000（142KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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