Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 薄膜电致发光器件的退火方法 （发明） | |
| 高鹏涛; 叶如华 | |
| 1998-07-01 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-14 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于薄膜电致发光器件制作技术。本发明提供了一种薄膜电致发光器件的退火方法，可以消除Ｔａ↓［２］Ｏ↓［５］／ＳｉＯ↓［２］与发光膜之间应力。由于采用二次退火并控制升、降温速率，在膜的生长过程中形成的缺陷及各膜之间的失配得以消除，膜自身及各膜之间的应力得以充…… |
| 申请日期 | 1996-12-26 |
| 专利号 | 1186330 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 96118929 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12713 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高鹏涛,叶如华. 薄膜电致发光器件的退火方法 （发明）. 1186330[P]. 1998-07-01. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199800118633000000（98KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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