Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 激光外差共路干涉光学系统 （发明） | |
韩昌元; 顾去吾; 卢振武 ; 刘斌
| |
| 1997-04-09 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 公开日期 | 1997-04-09 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种测量物体超光滑表面的粗糙度、微细表面轮廓、微小位移、微小变形的装置及方法，是对激光外差干涉方法及系统的改进。本发明的共路干涉系统由光源１２、接收器２、接收器１１、分束器１，偏振分束器３，多面反射棱镜５、偏振分束器７、波片９、透镜１０、透镜８、反射…… |
| 申请日期 | 1992-05-16 |
| 专利号 | 1034530 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 92103398.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12636 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩昌元,顾去吾,卢振武,等. 激光外差共路干涉光学系统 （发明）. 1034530[P]. 1997-04-09. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN199300107905500000（349KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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