CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
喷气靶激光等离子体软X射线源 (发明)
陈波; 林景全; 尼启良
2001-06-20
专利权人中国科学院长春光学精密机械研究所
公开日期2012-09-14
专利类型发明专利
摘要本发明属于短波光学技术领域,涉及一种对带有喷气靶的激光等离子体软X射线源的改进。它由真空靶室、喷气阀、聚焦镜、差分室、真空泵、激光束组成。本发明采用激光器提供的外触发电信号控制喷气阀的电源解决了已有技术中温度控制喷嘴带来的问题,保证了激光束准确地聚焦在气体喷射……
申请日期1999-12-16
专利号1300179
语种中文
申请号99126340.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12607
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
陈波,林景全,尼启良. 喷气靶激光等离子体软X射线源 (发明). 1300179[P]. 2001-06-20.
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