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真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟 (实用新型)
李志明; 缪国庆
2008-10-15
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2008-10-15
专利类型实用新型
摘要本实用新型真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟,属于真空镀膜领域中应用的加热器具。它是针对克服化合物蒸发材料在蒸发前、后的化学元素配比发生变化而改制的。该加热蒸发舟是由薄的耐高温金属片制成的、带有通气孔的加热片,加热片的中间部分均匀分布小孔,第二部分是带有挂槽的挂盒,在挂盒内部配备有耐高温导热差的氧化铝陶瓷内衬“坩埚”,用挂……
资助项目201132847
申请号200720094316.7
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12481
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
李志明,缪国庆. 真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟 (实用新型)[P]. 2008-10-15.
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