Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 有机材料高能X射线聚焦组合透镜 (实用新型) | |
梁静秋 ; 乐孜纯
| |
| 2003-09-10 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2003-09-10 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型涉及有机材料高能Ｘ射线聚焦组合透镜，包括衬底基片１，有机物透镜阵列２，电铸阴极薄膜３，掩模吸收体４，空气隙５。衬底基片表面涂覆有机材料涂料，固化，上表面生长金属薄膜作为电铸阴极，电铸阴极上表面涂覆光刻胶，光刻、显影、坚膜、生长金属层作为附着式掩模吸收体，去除光刻胶及其下面的金属薄膜，用准分子激光准直光束直接刻…… |
| 资助项目 | 2572716 |
| 申请号 | 2275534.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12353 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,乐孜纯. 有机材料高能X射线聚焦组合透镜 (实用新型)[P]. 2003-09-10. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200300257271600000（295KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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