Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微型可调谐红外滤光器 (实用新型) | |
梁静秋 ; 姚劲松; 王立军
| |
| 2002-02-20 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2002-02-20 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型属于微光学器件，包括衬底、光栅固定端、光栅主体、光栅滑动端、驱动器、驱动器引线、驱动器电极、线圈、空气隙、铁芯，用准ＬＩＧＡ技术工艺简化、低成本、效率高；用典型的三维微细加工技术将可调谐光栅与驱动器集成制作在同一衬底上，不需装配对准，便于制成微光电机械系统芯片；本实用新型提供微型可调谐红外滤光器，可用于微重量…… |
| 资助项目 | 2478134 |
| 申请号 | 1222327.1 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12314 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,姚劲松,王立军. 微型可调谐红外滤光器 (实用新型)[P]. 2002-02-20. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200200247813400000（254KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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