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一种新型平面薄膜冷阴极器件 (实用新型)
王惟彪
2001-10-17
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2001-10-17
专利类型实用新型
摘要本实用新型属于真空微电子和半导体技术领域,涉及一种对平面薄膜冷阴极器件的改进。包括控制栅极、绝缘层、发射层、可控制衬底,本实用新型利用衬底上直接形成的控制层来控制电子通道以达到低压控制电子发射,利用衬底的工作特性来控制电子的通与断来达到控制电子发射及发射电流大小的目的,将控制电压降低到几伏至25伏,以便于与其它半导体器……
资助项目2454895
申请号253239.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12292
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王惟彪. 一种新型平面薄膜冷阴极器件 (实用新型)[P]. 2001-10-17.
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