真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极 (实用新型)

	真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极 (实用新型)
	李志明
	2001-07-11
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2001-07-11
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型是在真空镀膜系统中用电阻加热式蒸发舟的电极，特别是涉及一种对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。包括：电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后，以及蒸发舟在上下装卸的过程中，由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断，从而……
资助项目	2438724
申请号	251552
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12273
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李志明. 真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极 (实用新型)[P]. 2001-07-11.