Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光栅刻线缺陷检验装置 (发明) | |
吴宏圣; 曾琪峰; 乔栋; 张吉鹏; 孙强 ; 甘泽龙
| |
| 2012-08-08 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 光栅刻线缺陷检验装置，涉及一种光栅刻线缺陷检验装置，解决现有光栅尺制造过程中主尺存在污点和前后相位不一致等情况，靠人工无法完成光栅尺检验的问题，本发明的第一移位驱动装置驱动信号探测头沿检测方向运动，信号探测头检测到光源发出的，并被待测光栅和标准光栅调制的光，并由光电探测器转化为电信号，由信号处理模块进行放大处理和模数转…… |
| 资助项目 | 102628811A |
| 申请号 | 201210088493.X |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12254 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴宏圣,曾琪峰,乔栋,等. 光栅刻线缺陷检验装置 (发明)[P]. 2012-08-08. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201210262881100000（285KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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