一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 (发明)

	一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 (发明)
	马冬梅; 邵晶
	2012-07-25
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功……
资助项目	102607461A
申请号	201210080275.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12233
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	马冬梅,邵晶. 一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 (发明)[P]. 2012-07-25.