Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种平面高精度平行度的检测装置 (发明) | |
鱼卫星; 王二伟; 王成; 孙强
| |
| 2012-07-04 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种平面高精度平行度的检测装置，包括：平面干涉测量装置，其可以对第一待测面与第二待测面之间的平行度进行激光平面干涉测量；移相装置，其可以将所述第二待测面在光路方向上移动；所述第一待测面为半反半透的待测面，所述第二待测面为全反射的待测面，在光路上，所述第一待测面位于所述第二待测面之前。本发明的平面高精度平行度的检测装置，…… |
| 资助项目 | 102538714A |
| 申请号 | 201110451097.4 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12181 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鱼卫星,王二伟,王成,等. 一种平面高精度平行度的检测装置 (发明)[P]. 2012-07-04. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201210253871400000（324KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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