一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法 (发明)

	一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法 (发明)
	代雷; 隋永新; 杨怀江; 王高文; 王飞
	2012-01-18
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法属于测量技术领域，检测方法如下步骤：安装装置，条纹判读，检测被测元件是否满足于要求；如果不满足，驱动调节装置，最终调节到干涉条纹为理想条纹且干涉条纹数目合适，程序结束。本发明可以对被测元件进行高精度且快速的姿态与位置调整，提高了调整的效率，降低由于人工判读对菲索干涉仪测……
资助项目	102322817A
申请号	201110157810.4
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12035
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	代雷,隋永新,杨怀江,等. 一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法 (发明)[P]. 2012-01-18.