太阳能电池硅薄膜制备方法及实现该方法的装置 (发明)

	太阳能电池硅薄膜制备方法及实现该方法的装置 (发明)
	王希军
	2011-12-07
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种太阳能电池硅薄膜制备方法及实现该方法的装置，该方法及装置通过高精度移动平台带动太阳能电池基板作匀速直线运动，使给粉装置送出的超细硅粉均匀覆于基板上；在基板移动过程中，利用高能线激光光束照射基板，使覆于基板表面的硅粉在经过高能线激光光束照射区域时熔融，移出光束区后通过再结晶过程，在基板表面形成硅薄膜。本发明……
资助项目	102270704A
申请号	201110216366.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11995
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王希军. 太阳能电池硅薄膜制备方法及实现该方法的装置 (发明)[P]. 2011-12-07.