Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
绝对式光栅尺 (发明) | |
曾琪峰; 乔栋; 孙强 | |
2011-06-15 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明涉及一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其中,该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器接收到绝对位置信号、参考位置信号及细分信号。该参考位置信号包括两路,其中一路为二半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。该绝…… |
资助项目 | 102095379A |
申请号 | 201010575398.3 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11901 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾琪峰,乔栋,孙强. 绝对式光栅尺 (发明)[P]. 2011-06-15. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN201110209537900000(353KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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