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光电式微位移测量装置 (发明)
杨宁; 王恒坤; 韩旭东; 刘长顺
2011-02-23
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2012-08-29
专利类型发明专利
摘要光电式微位移测量装置,涉及光电测量技术领域,具体涉及光电测量技术中测量微位移的装置。本发明为解决现有微位移测量装置的体积大,测量精度低且稳定差,易受电器噪声干扰等问题,其结构包括壳体、主光栅固定架、主轴、导向轴、主光栅、发光组件、指示光栅、指示光栅固定架、光电接收组件、信号处理元件和接触探头;主光栅固定架固定在主轴上,……
资助项目101979959A
申请号201010528023.1
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11839
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
杨宁,王恒坤,韩旭东,等. 光电式微位移测量装置 (发明)[P]. 2011-02-23.
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