中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种低温沉积含银类金刚石薄膜的方法 (发明)
	王彤彤; 高劲松; 王笑夷
	2011-01-26
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种低温沉积含银类金刚石薄膜的方法属于薄膜沉积技术领域，该方法是：采用已有的真空室及工艺配置，在室温下，调节基底至Ｅｎｄ－Ｈａｌｌ型离子源之间的距离；调节真空室的真空度达到１×１０－３Ｐａ；选择ＣＨ４和Ｈ２作为先驱气体，其体积比为９∶１，ＣＨ４输送到Ｅｎｄ－Ｈａｌｌ型离子源中，Ｈ２通到Ｅｎｄ－Ｈａｌｌ型离子源出口的上方……
资助项目	101956179A
申请号	201010529526.0
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11829
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王彤彤,高劲松,王笑夷. 一种低温沉积含银类金刚石薄膜的方法 (发明)[P]. 2011-01-26.

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