Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法 (发明) | |
王孝坤![]() ![]() | |
2011-01-19 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明涉及一种非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法,该方法包括如下步骤:计算z(x,y)-s(x,y,r)的值,其中z(x,y)为非球面沿光轴方向的矢高分布,s(x,y,r)为与待测非球面最接近的球面沿光轴方向的矢高分布;利用透射球将干涉仪出射的平行光转变为标准球面波并将其作为参考球面波;调整待测非球面的位置,使得与待…… |
资助项目 | 101949691A |
申请号 | 201010273734.9 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11824 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王孝坤,郑立功,张学军. 非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法 (发明)[P]. 2011-01-19. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN201110194969100000(359KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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