Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法 (发明) | |
彭忠琦; 卢启鹏; 马磊 | |
2010-12-08 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明的超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法,涉及精密调节领域,该装置包括光学元件座、光学元件、柔性铰链座、第一压电陶瓷机构、第二压电陶瓷机构、第一柔性铰链和第二柔性铰链,柔性铰链座包括固定板、第一调节动板和第二调节动板。柔性铰链组布置采用两层相互垂直一块料加工成型的叠加方式,并且每层柔性铰链组与压电陶瓷…… |
资助项目 | 101907757A |
申请号 | 201010224066.0 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11799 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭忠琦,卢启鹏,马磊. 超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法 (发明)[P]. 2010-12-08. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN201010190775700000(325KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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