超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法 (发明)

	超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法 (发明)
	彭忠琦; 卢启鹏; 马磊
	2010-12-08
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明的超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法，涉及精密调节领域，该装置包括光学元件座、光学元件、柔性铰链座、第一压电陶瓷机构、第二压电陶瓷机构、第一柔性铰链和第二柔性铰链，柔性铰链座包括固定板、第一调节动板和第二调节动板。柔性铰链组布置采用两层相互垂直一块料加工成型的叠加方式，并且每层柔性铰链组与压电陶瓷……
资助项目	101907757A
申请号	201010224066.0
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11799
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	彭忠琦,卢启鹏,马磊. 超高真空中压电陶瓷驱动柔性铰链的精密调节装置及方法 (发明)[P]. 2010-12-08.