微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置 (发明)

	微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置 (发明)
	胡永生; 叶淑娟; 秦莉; 张楠; 宁永强
	2010-10-20
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置，涉及半导体器件集成装调技术领域。为解决现有微透镜阵列与二极管激光器陈列集成时，两者间的相对位置难以准确定位的问题，本发明将微透镜阵列和二极管激光器阵列置于真空吸附台，与二极管激光器阵列相连的吸附台置于微调架上，启用超声测厚仪，粗调微调架ｚ方向旋钮和旋转旋钮，使微透镜……
资助项目	101867158A
申请号	201010179504.6
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11770
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	胡永生,叶淑娟,秦莉,等. 微透镜阵列与二极管激光器阵列集成的微调方法及装置 (发明)[P]. 2010-10-20.