绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 (发明)

	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 (发明)
	孙继凤; 刘立峰; 王忠生; 汤建华; 田兴志
	2011-04-20
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2011-04-20
专利类型	发明专利
摘要	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法，本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Ｆθ聚焦透镜时，产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系：激光器输出光送给扫描振镜，光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振……
资助项目	101718958B
申请号	200910217899.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11682
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	孙继凤,刘立峰,王忠生,等. 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 (发明)[P]. 2011-04-20.