一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 (发明)

	一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 (发明)
	巩岩; 李顺; 张巍
	2010-10-27
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2010-10-27
专利类型	发明专利
摘要	一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，属于光学检测技术领域中的检测设备。要解决的技术问题：提供一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，技术方案：包括激光光源、起偏器、多光束分光器、光阑、偏振分光镜、１／４波片、五棱镜、待测筒状非球面镜、傅里叶变换透镜、ＣＣＤ相机等。在激光光源的光轴上，依次放置起偏器、……
资助项目	101614523B
申请号	200910067382.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11636
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	巩岩,李顺,张巍. 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 (发明)[P]. 2010-10-27.