中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	制备太阳盲紫外探测器的方法 (发明)
	鞠振刚; 张吉英; 单崇新; 申德振; 姚斌; 赵东旭; 张振中; 李炳辉
	2009-12-02
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2009-12-02
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及紫外探测器的制备方法，特别是一种制备太阳盲紫外探测器的方法，采用金属有机化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备氧锌镁膜层，在该氧锌镁膜层上再蒸镀Ａｕ膜层，用湿法刻蚀Ａｕ膜层制备出叉指形电极，所述的氧锌镁膜层是在以下工艺条件下获得的具有单一立方相的、其吸收边从２２０ｎｍ到２６０ｎｍ的ＭｇＺｎＯ薄膜：生长温度为３００℃……
资助项目	100565941
申请号	200810051098.8
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11515
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	鞠振刚,张吉英,单崇新,等. 制备太阳盲紫外探测器的方法 (发明)[P]. 2009-12-02.

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CN200910134527200000（308KB）			开放获取	--	浏览 下载

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