有机材料高能X射线聚焦组合透镜及其制作方法 (发明)

	有机材料高能X射线聚焦组合透镜及其制作方法 (发明)
	梁静秋; 乐孜纯
	2004-10-06
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2004-10-06
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及有机材料高能Ｘ射线聚焦组合透镜及制作，包括衬底基片１，有机物透镜阵列２，电铸阴极薄膜３，掩模吸收体４，空气隙５。衬底基片表面涂覆有机材料涂料，固化，上表面生长金属薄膜作为电铸阴极，电铸阴极上表面涂覆光刻胶，光刻、显影、坚膜、生长金属层作为附着式掩膜吸收体，去除光刻胶及其下面的金属薄膜，用准分子激光准直光束直接……
资助项目	1170459
申请号	2133089.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11482
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,乐孜纯. 有机材料高能X射线聚焦组合透镜及其制作方法 (发明)[P]. 2004-10-06.