低损耗有机聚合物阵列波导光栅的蒸汽回溶制备方法 (发明)

	低损耗有机聚合物阵列波导光栅的蒸汽回溶制备方法 (发明)
	张大明; 鄂书林; 张海明; 邓文渊; 张希珍
	2008-08-13
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2008-08-13
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种有机聚合物阵列波导光栅制备方法。在硅衬底上旋涂有机聚合物波导下包层和芯层材料并分别进行烘干固化；蒸发或溅射金属膜，进行光刻和氧反应离子刻蚀，将图形之外的有机聚合物波导芯层刻蚀掉；放入有机蒸汽中，控制温度和时间，使有机聚合物波导芯层侧壁粗糙部分逐渐溶化而变得光滑；腐蚀掉金属层，旋涂有机聚合物波导上包层材料，……
资助项目	100410707
申请号	200510119060.6
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11456
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张大明,鄂书林,张海明,等. 低损耗有机聚合物阵列波导光栅的蒸汽回溶制备方法 (发明)[P]. 2008-08-13.