Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
有源大通道金刚石厚膜热沉及制备方法 (发明) | |
廖新胜; 刘云; 王立军 | |
2002-08-21 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明属于半导体光电子技术领域,提供一种有源大通道金刚石厚膜热沉及制备方法,把金刚石厚膜切割成热沉所需形状并将其表面抛光、清洗干净并在镀制钛、镍、金薄膜并金属化、镀铟;热沉包括:螺钉孔,铜板,绝缘垫,激光器阵列条,铜片,透孔,铜片。本发明将金刚石厚膜表面完全浸在由进水孔、浅槽、出水孔、水流向线组成的有源大通道的冷却液中…… |
资助项目 | 1365169 |
申请号 | 1120959.3 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11432 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 廖新胜,刘云,王立军. 有源大通道金刚石厚膜热沉及制备方法 (发明)[P]. 2002-08-21. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200200136516900000(253KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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