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有源大通道金刚石厚膜热沉及制备方法 (发明)
廖新胜; 刘云; 王立军
2002-08-21
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2012-08-29
专利类型发明专利
摘要本发明属于半导体光电子技术领域,提供一种有源大通道金刚石厚膜热沉及制备方法,把金刚石厚膜切割成热沉所需形状并将其表面抛光、清洗干净并在镀制钛、镍、金薄膜并金属化、镀铟;热沉包括:螺钉孔,铜板,绝缘垫,激光器阵列条,铜片,透孔,铜片。本发明将金刚石厚膜表面完全浸在由进水孔、浅槽、出水孔、水流向线组成的有源大通道的冷却液中……
资助项目1365169
申请号1120959.3
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11432
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
廖新胜,刘云,王立军. 有源大通道金刚石厚膜热沉及制备方法 (发明)[P]. 2002-08-21.
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