半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置 (发明)

	半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置 (发明)
	刘云; 王立军; 李再金; 姚迪
	2009-01-14
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2009-01-14
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于半导体光电子学技术领域，涉及一种半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置，包括底座，支架，滑块，升降调节杆，微调旋钮，第一橡胶板，第二橡胶板，第三橡胶板，鱼夹；通过调节微调旋钮可以使滑块相对于升降调节杆上下滑动，带动第三橡胶板上以相同高度水平排列安装的鱼夹上下移动，从而使夹紧在鱼夹上的微通道热沉浸入腐蚀液……
资助项目	100452578
申请号	200710055785.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11416
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘云,王立军,李再金,等. 半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置 (发明)[P]. 2009-01-14.