用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法 (发明)

	用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法 (发明)
	刘益春; 李炳生; 马剑钢; 吕有明; 申德振
	2004-06-09
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2004-06-09
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法。在不同衬底上通过高温热氧化氮化锌单晶薄膜获得ｐ－型氧化锌材料，通过控制氧化温度与热氧化时间来控制ｐ－型氧化锌材料的受主杂质浓度。利用高温条件下氧易于替代立方反铁锰矿结构氮化锌中的氮，并形成六方结构ｐ－型氧化锌，可实现氮的替位掺杂形成ｐ－型氧化锌，并通过热氧化氮化锌……
资助项目	1153304
申请号	2141979.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11388
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘益春,李炳生,马剑钢,等. 用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法 (发明)[P]. 2004-06-09.