中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	用射频等离子体辅助制备氧化锌纳米管的方法 (发明)
	吕有明; 梁红伟; 申德振; 张振中; 刘益春; 张吉英; 范希武
	2007-08-08
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2007-08-08
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于半导体材料技术领域，涉及一种利用等离子体辅助的分子束外延制备氧化物纳米管的方法。先用射频等离子辅助的分子束外延设备，在蓝宝石或硅衬底上生长ＺｎＯ薄层，薄层厚度为１～８ｎｍ。通过射频等离子辅助的分子束外延设备的流量计和漏阀，对气体流量进行检测和控制。打开离子捕获阱时只有中性粒子进入生长室，关闭时则等离子体进入生……
资助项目	1331196
申请号	200410010859.7
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11372
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吕有明,梁红伟,申德振,等. 用射频等离子体辅助制备氧化锌纳米管的方法 (发明)[P]. 2007-08-08.

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CN200500169713200000（464KB）			开放获取	--	浏览 下载

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