Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 金属微尖冷阴极的制备方法 (发明) | |
| 王惟彪 | |
| 2004-06-09 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2004-06-09 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种对金属微尖如钼、钨等微尖阵列制备方法的改进。在金属基底上经溅射、光刻、腐蚀抗蚀层形成圆形抗蚀层图形阵列，腐蚀金属基底形成带有抗蚀层帽的金属微尖原坯及取出、溅射绝缘层和栅极金属后，在原溶液中继续腐蚀至形成尖锐的金属微尖冷阴极。本发明利用腐蚀过程发生在无抗蚀层区的纵向和抗蚀层图形阵列掩蔽下金属的侧向的特点来制…… |
| 资助项目 | 1153241 |
| 申请号 | 123330.0 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11369 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王惟彪. 金属微尖冷阴极的制备方法 (发明)[P]. 2004-06-09. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200200135554500000（184KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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