中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	聚合物基底双平面电磁线圈的制作方法 (发明)
	刘波; 张平; 吴一辉; 王淑荣; 刘永顺; 张涛
	2008-03-26
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于微电子机械系统技术领域，是一种聚合物基底双平面电磁线圈的制作方法。用微机械工艺和聚合物微复制技术，在硅片表面刻蚀线圈微沟槽，以此为初级模版，在其图形上浇铸聚二甲基硅氧烷，固化脱模后便得到具有与硅初级模版图形相反的硅橡胶模版；组装好具有双面图形的一对硅橡胶模版，在其内注塑环氧树脂，固化脱模后便得到具有双面沟槽的……
资助项目	101150008
申请号	200610017204.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11365
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘波,张平,吴一辉,等. 聚合物基底双平面电磁线圈的制作方法 (发明)[P]. 2008-03-26.

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CN200810115000800000（694KB）			开放获取	--	浏览 下载

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