Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种自控液晶光阀组光刻快门 (发明) | |
| 陈赟 | |
| 2006-02-01 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种自控液晶光阀组光刻快门，属于光学精密刻划技术领域中涉及的一种光刻快门，本发明要解决的技术问题是：提供一种自控液晶光阀组光刻快门，解决的技术方案是：包括灯盒、托板、液晶光阀组、曝光镜头、微型计算机、待刻码盘；在灯盒的光的传播方向上，从上到下依次安置灯盒、托板、曝光镜头、待刻码盘；在托板上固连放置液晶光阀组，使液晶光阀…… |
| 资助项目 | 1728001 |
| 申请号 | 200510016501.X |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11300 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟. 一种自控液晶光阀组光刻快门 (发明)[P]. 2006-02-01. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200600172800100000（381KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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