一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 (发明)

	一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 (发明)
	郭永飞
	2006-01-11
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2006-01-11
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种紫外光曝光机曝光量控制装置为冷却罩１和１０、光源２和９、遮光罩３和８、快门板４和１１、传送带５、电动执行机构６和１８、金属阴极板７、上探测器１２和１３、漫反射白板１４和１７、下探测器１５和１６、驱动器１９、计算机２０、信号放大变换器２１和电缆２２，方法利用对曝光时间和曝光量以数字化的方式进行精确控制，设计……
资助项目	1236361
申请号	200310115973.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11299
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	郭永飞. 一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 (发明)[P]. 2006-01-11.