Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种凹球面光刻刻划机 (发明) | |
艾华; 韩旭东
| |
| 2006-04-12 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2006-04-12 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种凹球面光刻刻划机，属于超微细加工技术领域中的一种对凹球面实施光刻的光刻设备。本发明要解决的技术问题是：能在凹球面上光刻纬纬相交的网栅线或经纬相交的网栅线。技术方案是：光刻刻划机形体采用支架支撑结构，由水平回转轴系统、竖轴系统、进给轴系统、光学系统组成。竖直轴线和进给轴轴线分别与水平回转轴轴线垂直且相交于水平回转轴轴…… |
| 资助项目 | 1251027 |
| 申请号 | 2133149.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11298 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 艾华,韩旭东. 一种凹球面光刻刻划机 (发明)[P]. 2006-04-12. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200400148899700000（759KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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