CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置 (发明)
冯晓国; 赵晶丽; 梁凤超; 高劲松
2011-11-30
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2011-11-30
专利类型发明专利
摘要本发明涉及对光学器件进行旋涂光刻胶时的辅助卡具,特别是一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置,由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘和旋扣式连接在底盘周缘壁上的盖板构成,在所述底盘周缘壁的下部设有至少3个均布的台肩;所述的盖板顶部中心设有一垂向通孔,在该通孔中通过弹簧设置一可使之上下滑动的滑动轴,该滑动轴的……
资助项目101311831B
申请号200810050937.4
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11296
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
冯晓国,赵晶丽,梁凤超,等. 用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置 (发明)[P]. 2011-11-30.
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