Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 片式电阻刻蚀的激光脉宽可调控制方法 (发明) | |
| 汤建华; 孙继凤 | |
| 2004-02-11 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2004-02-11 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于激光精细加工领域，涉及到片式电阻激光刻蚀中通过调整激光器输出脉冲宽度进行加工工艺控制的方法。本发明在传统的片式电阻激光刻蚀中增加了对激光器输出脉冲宽度的控制，使单纯依靠调整激光器的输出功率和脉冲频率来选择不同阻值的最佳工艺参数的匹配空间增大了，对数百种的片式电阻工艺控制参数更容易找到最佳匹配值。使激光调阻机主…… |
| 资助项目 | 1138284 |
| 申请号 | 131928.0 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11282 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汤建华,孙继凤. 片式电阻刻蚀的激光脉宽可调控制方法 (发明)[P]. 2004-02-11. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200200135030600000（364KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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