中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	微型可调谐红外滤光器及其制备工艺 (发明)
	梁静秋; 姚劲松; 乐孜纯; 王立军
	2004-05-19
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2004-05-19
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于微光学器件，包括衬底、光栅固定端、光栅主体、光栅滑动端、驱动器、驱动器引线、驱动器电极、线圈、空气隙、铁芯，用准ＬＩＧＡ技术工艺简化、低成本、效率高；用典型的三维微细加工技术将可调谐光栅与驱动器集成制作在同一衬底上，不需装配对准，便于制成微光电机械系统芯片；本发明提供微型可调谐红外滤光器，可用于微重量测试的电……
资助项目	1150409
申请号	1117636.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11256
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,姚劲松,乐孜纯,等. 微型可调谐红外滤光器及其制备工艺 (发明)[P]. 2004-05-19.

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CN200200134698800000（347KB）			开放获取	--	浏览 下载

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