利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法 (发明)

	利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法 (发明)
	薛栋林; 郑立功; 张学军
	2006-12-27
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明针对利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法。首先完成系统光路的粗装调，然后实时采集一幅干涉图，获得被检非球面镜的波像差，利用赛德尔像差多项式作为基底拟合获得被检非球面镜失调引入波像差，根据拟合波像差与失调引入波像差的相互对应关系得到失调量的数值，利用计算机控制调整机构实现系统精确定位。再采集一幅干涉图，当干……
资助项目	1885097
申请号	200510016907.8
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11249
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	薛栋林,郑立功,张学军. 利用计算机对非球面检验光学系统进行调整的方法 (发明)[P]. 2006-12-27.