Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 柔性悬臂微机械光开关制作方法 (发明) | |
梁静秋 ; 钟砚超; 梁中翥; 陈斌; 孙德贵
| |
| 2009-12-30 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2009-12-30 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于光电器件技术领域，是一种柔性悬臂微机械光开关的制作方法。制作过程包括：基片处理，制作牺牲层，制作聚酰亚胺底层，制作第一层线圈，制作线圈连接柱，制作第二层线圈，制作上保护层及悬臂释放，粘接永磁体，安装棱柱形微反射镜。本发明引入聚酰亚胺材料制作悬臂，在其上制作平面线圈绕组，有效解决了磁扰问题，且具有性能稳定，制作…… |
| 资助项目 | 100576016 |
| 申请号 | 200710056339.3 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11238 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,钟砚超,梁中翥,等. 柔性悬臂微机械光开关制作方法 (发明)[P]. 2009-12-30. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200810115874700000（696KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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