用微通道阵列对微光学部件定位的机构及微通道模块制备方法 (发明)

	用微通道阵列对微光学部件定位的机构及微通道模块制备方法 (发明)
	梁静秋; 董玮; 赵莉娜; 王惟彪; 陈维友
	2011-01-19
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ; 吉林大学
公开日期	2011-01-19
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及微光机电器件的制作。本发明结构包括支撑体，微反射镜芯片坑，Ｖ形槽，入射、出射微光学部件，衬底，微通道阵列和盖板组成，本发明微通道模块制备采用的材料可以采用ＳＵ－８光刻胶，ＰＭＭＡ或单晶硅，使微通道阵列的高度和宽度与微反射镜的尺寸相匹配，将入射微光学部件输出的光束分别通过相应的微通道阵列由出射微光学部件接收，由……
资助项目	101025460B
申请号	200610016597.4
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11224
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,董玮,赵莉娜,等. 用微通道阵列对微光学部件定位的机构及微通道模块制备方法 (发明)[P]. 2011-01-19.