Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种聚合物垂直耦合器的制备方法 (发明) | |
邓文渊 ; 周广丽; 郭洪波; 鄂书林
| |
| 2008-06-18 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及光通信－集成光波导器件的制备方法，具体涉及一种聚合物垂直耦合器的制备方法。包括以下步骤：ａ．在洁净的衬底上旋涂一层聚合物包层材料，ｂ．在步骤ａ所形成的器件上面沉积一层金属薄膜和一层正性光刻胶，进行光刻掩膜，反应离子刻蚀，制备出光波导芯层的掩埋沟道；ｃ．在步骤ｂ所形成的器件上旋涂聚合物芯层材料，进行反应离子刻蚀…… |
| 资助项目 | 101201435 |
| 申请号 | 200710193524.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11217 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓文渊,周广丽,郭洪波,等. 一种聚合物垂直耦合器的制备方法 (发明)[P]. 2008-06-18. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200810120143500000（469KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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